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In der Vakuumtechnik wird das Prozessverhalten durch§Partikel negativ beeinflusst. Eine Quelle für die§Entstehung von Partikeln ist der Dichtbereich des§Ventils. §In dieser Arbeit wurde das Verhalten eines bestimmten§Dichtmaterial ... więcej
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In der Vakuumtechnik wird das Prozessverhalten durch§Partikel negativ beeinflusst. Eine Quelle für die§Entstehung von Partikeln ist der Dichtbereich des§Ventils. §In dieser Arbeit wurde das Verhalten eines bestimmten§Dichtmaterials (Viton) beim Abdichtvorgang§untersucht. Durch verifizierte Simulationen wurden§Kraft-Weg-Kennlinien generiert, die für die§konstruktive Auslegung des Vakuumventils und dessen§Antriebseinheiten verwendet werden.§Von signifikanter Bedeutung ist das Verhalten des§Dichtwerkstoffes während des Schliessvorganges. Um§das Materialverhalten beschreiben zu können, wurden§Materialversuche durchgeführt. Diese Kennwerte§bildeten die Grundlage der Finite Elemente§Simulation. Simuliert wurde das Dichtmaterial in§verschiedenen Dichtnuten (Geometrie und Dimension).§Die Simulation konnte durch entsprechende Messdaten§verifiziert werden.§Eine wichtige Messdatenquelle ist hierbei das ESPI§(Electronic Speckle Pattern Interferometry)§Verfahren. Durch dieses Verfahren ist es möglich,§Verschiebungen des Dichtmaterials in der Dichtnut zu§messen.§Durch diese Arbeit konnte ein verifiziertes§Simulationsmodell für Viton zur Verfügung gestellt§werden.
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