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Opis

Mikromechanik behandelt die physikalischen Grundlagen dieser jungen, zukunftsträchtigen Disziplin, ihre Technologie, aufbauend auf der Siliziumtechnologie, und ihre Nutzung in den verschiedensten Anwendungen der Bereiche Sensorik, Aktuatorik und integrierte Optoelektronik. Das Buch ist unentbehrlich für jeden, der sich intensiv mit der Mikromechanik befassen will; für den Studierenden ebenso wie für den Ingenieur in der Praxis oder den interessierten Laien.

Szczegóły książki

Kategoria Książki po niemiecku Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Technik Wärme-, Energie- und Kraftwerktechnik

• Pełny tytuł: Mikromechanik
• Podtytuł: Mikrofertigung mit Methoden der Halbleitertechnologie
• Autor: Anton Heuberger
• Język: Niemiecki
• Oprawa: Miękka
• Liczba stron: 501
• EAN: 9783642466229
• ISBN: 3642466222
• ID: 07019821
• Wydawca: Springer, Berlin
• Waga: 893 g
• Wymiary: 244 × 170 × 27 mm
• Rok wydania: 2012

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