Zobacz książki o podobnej tematyce

Więcej informacji o Micro and Nano Fabrication

• Dane szczegółowe
• Opis
• Ulubione w innej kategorii

Za ten zakup dostaniesz 358 punkty

Opis

For Micro and Nano Electro-Mechanical Systems (MNEMS) production, each product requires a unique process technology.§This book provides a comprehensive insight into the tools required for fabricating MNEMS systems and the process technologies applied. Besides, it describes the enabling technologies which are necessary for successful production, i.e., wafer planarization and bonding, cleanroom, or gas and surface analysis.

Szczegóły książki

Kategoria Książki po angielsku Technology, engineering, agriculture Industrial chemistry & manufacturing technologies Other manufacturing technologies

• Pełny tytuł: Micro and Nano Fabrication
• Podtytuł: Tools and Processes
• Autor: Hans-Heinrich Gatzen, Volker Saile, Juerg Leuthold
• Język: Angielski
• Oprawa: Twarda
• Liczba stron: 519
• EAN: 9783662443941
• ISBN: 3662443945
• ID: 05158609
• Wydawca: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
• Waga: 952 g
• Wymiary: 240 × 164 × 31 mm
• Data wydania: 20. January 2015

Ulubione w innej kategorii

---

---

---