Zobacz książki o podobnej tematyce

Więcej informacji o Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology

• Dane szczegółowe
• Opis
• Ulubione w innej kategorii

Za ten zakup dostaniesz 914 punkty

Opis

Explores the science and technology of lithographic processes and resist materials and summarizes innovations in semiconductor manufacturing. This book considers future trends in lithography and resist material technology. It also reviews the interaction of light, electron beams, and X-rays with resist materials.

Szczegóły książki

Kategoria Książki po angielsku Technology, engineering, agriculture Electronics & communications engineering Electronics engineering

• Pełny tytuł: Microlithography Fundamentals in Semiconductor Devices and Fabrication Technology
• Autor: Toshio Ito
• Język: Angielski
• Oprawa: Twarda
• Liczba stron: 336
• EAN: 9780824799519
• ISBN: 9780824799519
• ID: 03020458
• Wydawca: Taylor & Francis Inc
• Waga: 612 g
• Wymiary: 229 × 152 × 22 mm
• Data wydania: 25. June 1998

Ulubione w innej kategorii

---

---

---