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Opis

Der vorliegende Band der "Dresdener Beiträge zur Sensorik" untersucht das reaktive Magnetron-Sputtern zur Abscheidung piezoelektrischer Dünnschichten auf der Basis von Aluminiumnitrid (AlN). Solche piezoelektrischen Dünnschichten lassen sich vorteilhaft für Sensoren und Aktoren verwenden. Der Abscheideprozess ermöglicht die homogene Herstellung auf einer großen Fläche von bis zu 200 mm Durchmesser bei gleichzeitig hoher Abscheiderate und Homogenität. Die Kenntnis der Haupteinflussgrößen des Prozesses auf die Schichteigenschaften ermöglicht die wirtschaftliche Abscheidung von AlN-Schichten mit Dicken von bis zu mehreren 10 Mikrometern. Durch die Dotierung der Schichten mit Scandium lassen sich die piezoelektrischen Eigenschaften weiter verbessern, so dass sich völlig neue Anwendungsgebiete eröffnen.

Szczegóły książki

Kategoria Książki po niemiecku Naturwissenschaften, Medizin, Informatik, Technik Technik Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik

• Pełny tytuł: Hochrate-Abscheidung von piezoelektrischen Aluminiumnitrid-Dünnschichten mittels reaktiven Magnetron-Sputterns
• Autor: Stephan Barth
• Język: Niemiecki
• Oprawa: Miękka
• Liczba stron: 124
• EAN: 9783959080132
• ID: 09375645
• Wydawca: TUDpress Verlag der Wissenschaften GmbH
• Waga: 218 g
• Wymiary: 225 × 158 × 7 mm
• Rok wydania: 2015

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