Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering / Najlacnejšie knihy
Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering

Code: 09206455

Crescimento de filmes finos de NiFe por magnetron sputtering

by De Almeida Mori Thiago Jose

Sensores baseados em magnetorresistęncia anisotrópica săo promissores para medidas de posiçăo tanto angulares quanto lineares. Estes dispositivos normalmente possuem a estrutura Ta/NiFe/Ta com a espessura da camada de NiFe sendo d ... more

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Book synopsis

Sensores baseados em magnetorresistęncia anisotrópica săo promissores para medidas de posiçăo tanto angulares quanto lineares. Estes dispositivos normalmente possuem a estrutura Ta/NiFe/Ta com a espessura da camada de NiFe sendo da ordem de 10 nm. Neste trabalho, propomos verificar se é possível aumentar a variaçăo percentual da resistęncia e a sensibilidade, para estruturas com boa estabilidade térmica, simplesmente acrescentando uma etapa de oxidaçăo após o crescimento de cada camada. Estudamos a influęncia dos parâmetros de deposiçăo nas propriedades estruturais e magnéticas das amostras e otimizamos o crescimento de filmes finos de NiFe pela técnica de "magnetron sputtering". Verificamos a influęncia do tratamento térmico nas propriedades estruturais de nanoestruturas do tipo Ta/NiFe/Ta submetidas, ou năo, ŕ oxidaçăo das interfaces. Observamos que a nanocamada de óxido de tântalo pode desempenhar o papel esperado, todavia, a qualidade cristalina das camadas de NiFe gera valores quantitativos de magnetorresistęncia menores que os encontrados na literatura.

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